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                探針檢測設備是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
                探針檢測設備
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